電子、特種氣體系統(tǒng)

特種氣體：

電子工廠的摻雜、外延、離子注入、刻蝕等生產(chǎn)工藝中使用的具有自燃性、可燃性、毒性、腐蝕性、氧化性、惰性等特殊氣體。

特種氣體系統(tǒng)：

是指特種氣體的儲存、輸送與分配過程的設(shè)備、管道和部件的總稱。其中管道部分有氣瓶集裝格、氣瓶柜(架)、閥門箱、閥門盤、氣體面板、尾氣處理裝置、氣體偵測系統(tǒng)。